필수 사항에 집중

몽펠리에(프랑스)에 본사를 둔 Kloé는 마이크로 기술 제조 전용의 다양한 장비를 개발하고 제조합니다. 그 중에서도 그들의 포트폴리오에는 마스크리스 다이렉트 레이저 리소그래피 시스템(maskless direct laser lithography systems)과 UV LED 마스킹 및 마스크 정렬기 시스템(UV LED masking and mask aligners systems)이 포함됩니다.

후자는 특히 마이크로 칩의 제조 뿐만 아니라 마이크로 광학 및 생명 공학 (랩온어칩)에서도 사용되어 포토 마스크를 실리콘, 유리 기판 또는 웨이퍼에 나타나는 패턴으로 정렬하고 그 아래 표면을 노출시킵니다.

가능한 한 정확하고 쉽게 정렬하기 위해 Kloé는 산업용 카메라를 활용하고 최신 세대 UV-KUB 3 마스크 정렬기에서 각각 IDS의 단일 보드 카메라 2대를 사용합니다. USB 2 uEye LE 시리즈의 두 카메라 모델들은 크기가 약 36 x 36mm에 불과하며 렌즈 홀더가 없는 향후 버전에서는 높이가 5mm에 불과합니다. Kloé는 카메라를 특수 광학 시스템에 직접 배치하여 이 솔루션으로 많은 공간을 절약합니다. 두 카메라 모두 USB 2.0을 통해 Linux Embedded 컴퓨터에 연결됩니다. 확대된 위치 표시가 있는 캡처된 이미지는 통합 화면의 장치에서 직접 시각화 됩니다. 그런 다음 조이패드를 사용하여 작업자가 포토 마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다.

"대신 쌍안 현미경을 사용할 수도 있지만, 단일 보드 크기의 산업용 카메라를 사용하는 솔루션은 훨씬 더 많은 공간을 절약할 수 있습니다."UV-KUB 시리즈의 Kloé Range Manager 인 Benjamin Rolland가 한 가지 장점으로 설명합니다. "우리 시스템은 데스크탑 시스템으로 설계되었습니다. 측면 길이가 47.5cm에 불과하여 직경 100mm의 웨이퍼 영역에 5 "포토 마스크를 노출할 수 있습니다. 큰 화면과 함께 사용하면 사용하기 더 쉽습니다. 이러한 간단한 이미징 방법 (콘트라스트 향상, HDR)을 고려함으로써 2 마이크론 미만의 정렬 정확도를 달성할 수 있습니다. "

렌즈 홀더가 없는 단일 보드 카메라로서, S- 마운트 또는 CS/C- 마운트가 있는 단일 보드 카메라로서 사용할 수 있으나, 마지막으로 하우징 버전으로 사용할 수 있습니다. OEM 고객은 자신의 요구 사항을 가장 잘 충족하고 필요한 기능을 갖춘 카메라를 쉽게 찾을 수 있습니다. 그 이상도 이하도 아닌.

Kloé는 유닛 당 UI-1242LE의 두 가지 모델을 통합합니다. 렌즈 홀더가 없는 USB 2.0 보드 카메라에는 e2v (1280 x 1024 px)의 매우 빛에 민감한 1.3 메가 픽셀 CMOS 센서가 장착되어 있습니다. 제조업체는 단색 버전의 센서를 사용합니다. CCD 품질의 뛰어난 광 감도 외에도, 카메라는 여러 가지 유용한 기능이 특징입니다. 센서는 2개의 전환 가능한 글로벌 및 롤링 셔터 옵션을 제공하므로 요구 사항과 조건을 변경할 때 최대한의 유연성을 제공합니다.

최대 4개의 관심 영역 (AOI)이 가용합니다. 5V 전력 공급, 트리거 및 플래시, 2 개의 GPIO 및 주변 장치를 제어하기위한 I²C 버스를 특히 포함하는 8 핀 Hirose 커넥터는 거의 무제한의 연결 및 유연성을 제공합니다.

따라서 카메라의 통합은 모델과 인터페이스에 관계없이 이루어집니다. 엔지니어는 USB 2.0 카메라에서 USB 3.0 또는 기가비트 이더넷 인터페이스를 사용하는 보다 강력한 모델로 쉽게 변경할 수 있습니다. 어플리케이션을 재개발할 필요는 없고, 카메라 별 파라미터를 조정하기만 하면 됩니다.

IDS Software Suite에는 C, C ++ 및 VB의 해당 소스 코드를 사용하여 카메라 통합 및 이미지 수집을 위한 프로그래밍 데모도 함께 제공됩니다. 개발자는 자신의 프로그램에서 사용할 파라미터를 빠르게 추출할 수 있습니다. HALCON, MERLIC, NeuroCheck 또는 LabVIEW와 같은 가용한 다른 머신 비전 소프트웨어 뿐만 아니라 직접 인터페이스도 있습니다.